针对目前国内室内环境监测系统普及度较低和舒适度测试需求,设计并实现了一种基于云计算平台的室内环境监测系统。基于物联网技术通过多传感器对室内环境信息进行采集,采集数据通过无线传感网络存储到云端数据库。云计算平台采用二级融合算法对采集数据进行分析处理并提供Web服务,用户可以通过网页或者终端实时查看室内环境并得到反馈结果。实验结果表明:设计的系统成本低本文由公司网站滚圆机网站 转载中国知网整理! http://www.gunyuanjixie.com、功耗小,易扩展,能够全面地对室内环境进行监测、统计和舒适度评价,具有较好的实用价值。 针对基于微机电系统（MEMS）技术的I2形原子力显微镜（AFM）探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化设计。显微镜探针设计优化-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机倒角机实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28. 9p N/Hz1/2,较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏度有望满足商用需求(小于10p N/Hz1/2)。 传感器与微系统第38卷放，并在液相CO2中对器件进行干燥处理(图4(d))。基底器件层埋氧层(d)(c)(b)(a)图4I2形探针加工流程示意图5为加工完成的I2形探针。可看出器件释放完全，针尖部位完好无缺损。其中，探针左侧下方存在部分残留的基底层硅，与图1(a)中器件相似，是由背面穿通刻蚀过程时间长、本文由公司网站滚圆机网站 转载中国知网整理! http://www.gunyuanjixie.com刻蚀窗口大小不易统一所造成的片内刻蚀均匀性不一致现象。后续通过HF腐蚀埋氧层实现器件释放后，左侧针尖(器件层)不再与基底层相连接，固不影响器件的正常工作。Cr/Au最大应变区域残留的基底层硅图5制作后I2形探针的SEM照片4性能测试采用差分电阻方法［10］分别对图4中的三种结构动态性能进行测试(图6)。其中直流偏压VDC设置为5V。激励信号VAC设置为1V(有效值)。0谐振频率/MHz输出电压/mV0123设计2设计3设计1图6相同输入条件下，不同掺杂浓度的I2形探针动态谐振响应曲线从测试曲线中可以看出，I2形探针的谐振频率在5．43～5．49MHz，与设计值较为接近。各器件间谐振频率的差异主要由于工艺一致性差别所造成。通过比较可以看出，在相同的输入的条件下:1)采用高浓度掺杂(设计1)的器件的输出信号幅值优于采用中等度掺杂(设计3)的器件;2)采用优化后的结构设计(设计2)可有效提升I2形探针的输出信号幅值。压阻传输效率得到有效提升。采用结构优化后的设计还可有效提升器件输出的信噪比显微镜探针设计优化-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机倒角机本文由公司网站滚圆机网站 转载中国知网整理! http://www.gunyuanjixie.com